标先SSTH系列中频磁控溅射电源 大功率中频电源

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r r SSTH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒。SSTH系列中频交流磁控溅射电源具备独特的电弧抑制功能，有效克服电弧对膜层造成的瑕疵，预警系统实时显示电源工作状态，以便及时排除潜在问题。电源特别适用于大功率反应溅射膜层，如Low-E玻璃生产线及金属非金属卷绕镀膜使用 r r
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r r 电源功率范围 r r	r r 30-120KW r r
r r 输入电源 r r	r r AC380V三相四线制AC50-60HZ±10％ r r
r r 输出方式 r r	r r 准正弦波 r r
r r 输出频率 r r	r r 40KHZ r r
r r 输出电压 r r	r r 空载1100V[有效值] r r
r r 输出特性 r r	r r 恒流 恒压 恒功率 r r
r r 灭弧时间 r r	r r ≤3uS r r
r r 输出电流稳定率 r r	r r 0.25％ r r
r r 负载持续率 r r	r r ** r r
r r 冷却方式 r r	r r 水冷 r r
r r 使用环境 r r	r r 环境温度 0-40℃ r r r 环境湿度 相对湿度≤85％ r r r 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体r 通风良好 r r
r r 冷却水 r r	r r 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 r r r 水温 20-30℃ r r r 压力 0.15±0.05Mpa r r
r r 通讯方式 r r	r r 模拟/RS485/RS232 r r
r r 说明：电源的输出数据可根据使用需要作相应调整 r r

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