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SJ6000激光干涉仪特点优势| 序号 | 标准号 | 标准名称 |
| 1 | GB/T 17421.2-2000 | 中国 标准 |
| 2 | GB 10931-1989 | 中国 标准 |
| 3 | ISO 230-2-1997 | 1997版国际标准 |
| 4 | ISO 230-2-2006 | 2006版国际标准 |
| 5 | ISO 230-2-2014 | 2014版国际标准 |
| 6 | ASME B5.54-2005 | 美国 标准 |
| 7 | ASME B89.1.12M-1990 | 美国机械工程师协会标准 |
| 8 | NMTBA-1997 | 美国机床协会标准 |
| 9 | BS 3800-2-1991 | 英国机床标准 |
| 10 | BS 4656-16-1985 | 英国机床标准 |
| 11 | JIS B6330 | 日本 标准 |
| 12 | VDI 3441 | 德国机床标准 |
| 13 | JJG 117-2005 | 平板检定规程 |
主机 稳频精度：0.05ppm 动态采集频率：50 kHz 预热时间：≤ 6分钟 工作温度范围：(0~40)℃ 存储温度范围：(-20~70)℃ 环境湿度：(0~95)%RH 环境补偿单元 空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃ 材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃ 空气湿度传感器：±5%RH (0~95)%RH 大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa 线性测量 测量距离：(0~80)m(无需远距离线性附件) 测量精度：0.5ppm (0~40)℃ 测量分辨力：1nm 测量 大速度：4m/s 角度测量 轴向量程：(0~15)m 测量范围：±10° 测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m) 测量分辨力：0.1″ 平面度测量 轴向量程：(0~15)m 测量范围：±1.5mm 测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m) 基板尺寸：180mm可调，360mm可调 测量分辨力：0.1μm 直线度测量 | | 轴向量程 | 测量范围 | 测量精度 | 分辨力 |
| 短距离 | (0.1~4.0)m | ±3mm | ±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm | 0.01μm |
| 长距离 | (1.0~20.0)m | ±3mm | ±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm | 0.1μm |
| 注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m | ||||
| | 轴向量程 | 测量范围 | 测量精度 | 分辨力 |
| 短距离 | (0.1～3.0)m | ±3/M mm/m | ±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | 0.01μm/m |
| 长距离 | (1.0～15.0)m | ±3/M mm/m | ±(2.5+2.5%R+0.08M) μm/m | 0.01μm/m |
| 注：R为垂直度结果；M为测量距离，单位：m | ||||
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