上海微电子今日交付中国首台光刻机

发布日期：2022-02-07 22:22:42 来源：[db:来源]

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上海微电子2月7日举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。

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