可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器，组合使用WDS和EDS，能提供无缝、舒适的分析环境。 日本电子新开发出的EPMA （电子探针）秉承近半个世纪的EPMA的发展历史，JXA-8230具备用户友好的操作、通过新式简单易用的PC 用户界面提供完整范围的高精度、快速分析，这是JEOL长年来对高可靠性硬件不断改良的结果。JXA-8230电子探针是下一代能完全满足多种需求的强力分析工具之一。

- EPMA快速启动，点击任何一点**能开始预设的EDS定性、定量分析或WDS分析。
- 用户菜单（User recipes），能保存或调用经常使用的各种不同类型的样品分析条件，菜单中包括了全部的电子光学参数、EDS和WDS参数在内。 
- EDS 的性能，数字化脉冲处理器，全谱面分布(WD/ED, 样品台和电子束扫描)，无风扇SDD (选配）

检测元素范围	WDS：(Be)*1 /B～U, EDS：B～U
X射线检测范围	WDS检测的波长范围:  0.087～9.3nm, EDS EDS检测的能量范围:  20keV
分光谱仪数量	WDS: 1～5道可选、EDS: 1台
**大样品尺寸	100mm × 100mm × 50mm（H）
加速电压	0.2～30kV（以0.1 kV为步长）
束流电流范围	10-12 ～ 10-5 A
束流电流稳定度	5%/h, ±0.3%/12h（W）
二次电子分辨率	6nm（W）, 5nm（LaB6）*2 （W.D. 11mm, 30kV）
扫描倍率	×40 ～  ×300,000（W. D. 11mm）
扫描图像分辨率	**大 5,120× 3,840
彩色显示器	EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024 SEM操作、 EDS分析用:  LCD 1,280 × 1,024

*1: 需安装用于Be分析的选配分光晶体。

*2: LaB6 为选配。