可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器,组合使用WDS和EDS,能提供无缝、舒适的分析环境。 日本电子新开发出的EPMA (电子探针)秉承近半个世纪的EPMA的发展历史,JXA-8230具备用户友好的操作、通过新式简单易用的PC 用户界面提供完整范围的高精度、快速分析,这是JEOL长年来对高可靠性硬件不断改良的结果。JXA-8230电子探针是下一代能完全满足多种需求的强力分析工具之一。 - EPMA快速启动,点击任何一点**能开始预设的EDS定性、定量分析或WDS分析。
- 用户菜单(User recipes),能保存或调用经常使用的各种不同类型的样品分析条件,菜单中包括了全部的电子光学参数、EDS和WDS参数在内。
- EDS 的性能,数字化脉冲处理器,全谱面分布(WD/ED, 样品台和电子束扫描),无风扇SDD (选配)
| 检测元素范围 | WDS:(Be)*1 /B~U, EDS:B~U |
| X射线检测范围 | WDS检测的波长范围: 0.087~9.3nm, EDS EDS检测的能量范围: 20keV |
| 分光谱仪数量 | WDS: 1~5道可选、EDS: 1台 |
| **大样品尺寸 | 100mm × 100mm × 50mm(H) |
| 加速电压 | 0.2~30kV(以0.1 kV为步长) |
| 束流电流范围 | 10-12 ~ 10-5 A |
| 束流电流稳定度 | 5%/h, ±0.3%/12h(W) |
| 二次电子分辨率 | 6nm(W), 5nm(LaB6)*2 (W.D. 11mm, 30kV) |
| 扫描倍率 | ×40 ~ ×300,000(W. D. 11mm) |
| 扫描图像分辨率 | **大 5,120× 3,840 |
| 彩色显示器 | EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024 SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024 |
*1: 需安装用于Be分析的选配分光晶体。
*2: LaB6 为选配。

