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南京高精密 SJ6000激光干涉仪 质量可靠 好机床选择中图 **现货
2021-07-03 08:131056
信息概况
  • 价格：￥15.00/台
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苏州格旭精密仪器有限公司
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  • SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现 高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

    SJ6000激光干涉仪特点优势

    精度高

    SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

    功能广

    n 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

    n 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

    n 可实现对机床回转轴的测量与校准；

    n 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

    n 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

    n 支持手动或自动进行环境补偿。

    软件强

    n 友好的人机界面；

    n 丰富的应用功能模块；

    n 向导式的操作流程；

    n 简洁化的记录管理；

    n 支持中文、英文和俄文界面；

    n 支持企业专属模板定制。

    标准多

    内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

    序号

    		标准号

    		标准名称

    1

    		GB/T 17421.2-2000

    		中国 标准

    2

    		GB 10931-1989

    		中国 标准

    3

    		ISO 230-2-1997

    		1997版国际标准

    4

    		ISO 230-2-2006

    		2006版国际标准

    5

    		ISO 230-2-2014

    		2014版国际标准

    6

    		ASME B5.54-2005

    		美国 标准

    7

    		ASME B89.1.12M-1990

    		美国机械工程师协会标准

    8

    		NMTBA-1997

    		美国机床协会标准

    9

    		BS 3800-2-1991

    		英国机床标准

    10

    		BS 4656-16-1985

    		英国机床标准

    11

    		JIS B6330

    		日本 标准

    12

    		VDI 3441

    		德国机床标准

    13

    		JJG 117-2005

    		平板检定规程

    主机

    稳频精度：0.05ppm

    动态采集频率：50 kHz

    预热时间：≤ 6分钟

    工作温度范围：(0~40)℃

    存储温度范围：(-20~70)℃

    环境湿度：(0~95)%RH

    环境补偿单元

    空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

    材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

    空气湿度传感器：±5%RH (0~95)%RH

    大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa

    线性测量

    测量距离：(0~80)m(无需远距离线性附件)

    测量精度：0.5ppm (0~40)℃

    测量分辨力：1nm

    测量 大速度：4m/s

    角度测量

    轴向量程：(0~15)m

    测量范围：±10°

    测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

    测量分辨力：0.1″

    平面度测量

    轴向量程：(0~15)m

    测量范围：±1.5mm

    测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

    基板尺寸：180mm可调，360mm可调

    测量分辨力：0.1μm

    直线度测量


    		轴向量程

    		测量范围

    		测量精度

    		分辨力

    短距离

    		(0.1~4.0)m

    		±3mm

    		±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm

    		0.01μm

    长距离

    		(1.0~20.0)m

    		±3mm

    		±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm

    		0.1μm

    注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m

    垂直度测量


    		轴向量程

    		测量范围

    		测量精度

    		分辨力

    短距离

    		(0.1～3.0)m

    		±3/M mm/m

    		±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m

    		0.01μm/m

    长距离

    		(1.0～15.0)m

    		±3/M mm/m

    		±(2.5+2.5%R+0.08M) μm/m

    		0.01μm/m

    注：R为垂直度结果；M为测量距离，单位：m

    自动精密转台

    型号：WR50

    角度测量范围：(0~360)°

    测量精度：±1″

    分辨力：0.1″

    高转速：10rpm

    高跟踪速度：2rpm

    重量：1.9kg

    高度：148mm

    直径：112mm

    通信方式：蓝牙传输

    供电方式：锂电池

    正交触发盒

    信号输入：差分TTL(RS422)正交编码信号、10μApp微电流信号

    输出形式：10μs脉冲

    触发延时：0.1μs

    供电电源：12VDC

    尺寸重量与供电

    便携箱尺寸：613mm×460mm×230mm

    标准配置重量：18kg

    供电电源：(100~240)VAC

    安全要求

    激光的安全等级达到Class I要求


  • SJ6000激光干涉仪主要技术指标


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