亦属于一种具有开关量输出的位置传感器，它的测量头通常是构成电容器的一个极板，而另一个极板是物体的本身，当物体移向接近开关时，物体和接近开关的介电常数发生变化，使得和测量头相连的电路状态也随之发生变化，由此便可控制开关的接通和关断。电容式接近开关对任何介质都可以检测，包括导体、半导体、绝缘体，甚至可以用于检测液体和粉末状物料。对于非金属物体，动作距离决定于材质的介电常数，材料的介电常数越大，可获得的动作距离越大。
电容式接近开关由三大部分组成：振荡器、开关电路及放大输出电路。振荡器产生一个交变磁场。当金属目标接近这一磁场，并达到感应距离时，在金属目标内产生涡流，从而导致振荡衰减，以至停振。振荡器振荡及停振的变化被后级放大电路处理并转换成开关信号，触发驱动控制器件，从而达到非接触式之检测目的。
电容式接近开关的原理就是当电源接通时，RC振荡器不震荡，当一目标朝着电容器的电极靠近时，电容器的容量增加，振荡器开始震荡，通过后极电路的处理，将振和震荡两种信号转换成开关信号，电容式接近开关的感应圈由同轴金属电极构成，很像“打开的”电容器电极，这两个电极构成一个电容，串接在RC振荡回路中，从而起到检测有无物体存在的目的。
