网获悉：日前，苏州金宏气体股份有限公司发布公告称，公司自主研发的高纯氧化亚氮、超纯氨产品近日成功通过中芯国际集成电路制造有限公司（以下简称“中芯国际”）的稽核认证，等待测试，测试结果将直接影响到最终的产品销售与服务协议的签署。 据了解，高纯氧化亚氮、超纯氨是集成电路行业生产环节中至关重要的原材料，在集成电路和LED芯片的制作过程中，高纯氧化亚氮经化学反应生成的SiO2膜被沉淀到硅衬底上，氧化亚氮的纯度直接影响到SiO2膜纯度，并最终影响到电子器件的性能及质量。此外，半导体芯片在化学气相沉积工艺过程中用到大量电子气体，这一领域对高纯氧化亚氮的需求在近几年将呈现持续快速增长趋势。
而与高纯氧化亚氮相同，超纯氨也是半导体行业生产环节中至关重要的原材料，该产品主要应用于新型光电子材料领域，是MOCVD技术制备GaN的重要基础材料。
近年来，集成电路厂商对电子气体的质量稳定性要求越来越苛刻，在集成电路制造工艺中，电子气体产品一旦通过验证，则其纯度和质量要求即被锁定。因此，中芯国际对其气体供应商的稽核环节十分严格。
苏州金宏气体股份有限公司表示，公司的高纯氧化亚氮、超纯氨产品通过中芯国际的稽核认证，标志着公司在集成电路领域再次取得了关键性突破，证明了公司的产品质量与综合实力，为今后更快速、更优质、更全面的发展奠定了坚实的基础。
