随着半导体工艺进入10nm节点以下，EUV光刻机成为制高点，之前台积电抢购了全球多数的EUV光刻机，率先量产7nm、5nm工艺，现在内存厂商也要入场了，SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购EUV光刻机。
据报道，SK海力士与ASML公司签订了一个超级大单，未来5年内将斥资4.8万亿韩元，约合43.4亿美元购买EUV光刻机。
SK海力士在一份监管文件中称，这笔交易是为了实现下一代工艺芯片量产的目标。
ASML及SK海力士都没有透露这么多资金到底购买了多少台EUV光刻机，不过从之前均价1亿欧元的数据来看，SK海力士这次购买的EUV光刻机大约是40台。
如果扣除配套的服务费用，那么总数量也有可能在30-35台左右，依然不可小觑，毕竟ASML的EUV光刻机去年的销量也不过31台。
从各方面的数据来看，SK海力士未来几年中也会是ASML的EUV大客户。
此外，SK海力士是全球第二大内存芯片厂商，这次购买的EUV光刻机主要也是用于新一代内存颗粒，此前消息称SK海力士今年下半年在利川厂区M16采用EUV光刻机生产第四代（1a nm）DRAM产品。
对内存来说，它跟CPU逻辑工艺一样面临着需要微缩的问题，EUV光刻机可以减少多重曝光工艺，提供工艺精度，从而可以减少生产时间、降低成本，并提高性能。
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责任编辑：宪瑞
