飞秒激光双光子召集3D微纳加工体例（进口） 招标项标的潜在投标人应在沈阳市安静区三好街54号物产大厦2028室取得招标文件，并于2021年09月28日 09点30分（北
飞秒激光双光子召集3D微纳加工体例（进口） 招标项标的潜在投标人应在沈阳市安静区三好街54号物产大厦2028室取得招标文件，并于2021年09月28日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
1。可靠微纳米准绳三维立体器件创建工艺。二维横向线纳米以下，二维横向阔别率可达500纳米以下；三维横向线纳米以下，三维横向分辩率可达800纳米以下；三维Z轴主意分离率可达一微米以下；
2。设立筑设必须具有自愿侦测光刻胶和界面的性能。倘使光刻胶和界面的折射率分辨较大的话，在专揽高数值孔径的物镜的条款下，能找到的界面的精度须要到达150nm；
3。能够对衬底的倾斜进行自动检测并反响的举办坐标调度以保卫所遐想器件不失线。能够按照工件台的改变情状实时对激光能量调制，以庇护恒定的线。竖立必需可能自动诊治活动速度，分外是在转弯的时期，以抵达爱护样品加工快度的同时抵达很高的保线
3。本项对象特定资格条款：1。知足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2。落实政府采购计策需餍足的阅历条目：无3。本项标的特定经历条目：1）进口产品代劳商须供应货物设置商的授权及售后任职允许书。
方式：提供商在上述工夫内，将下列报名音讯发送至y：供应商单位名称、闭连人、电话、所报项目名称、开具发票消歇，并附采购文件费用电汇截图（收款单位：依诚招标有限公司；开户银行：上海浦东兴奋银行股份有限公司沈阳同泽支行；账号：7105 0154 7400 10939），无需提交其他们报名资料。
