真空灭弧室触头一般采用对接式，易产生出头弹跳现象。为了防止因弹跳激发操作过电压，对触头的材质有特殊要求，并要求在合闸过程中，有足够的初压力和终压力。弹跳时间不应超过2ms。
真空断路器触头的材质要求具有抗熔焊、耐电弧、含水量低、截流水平低等特点。以便能可靠地切合短路电流。一般选用多元合金制作触头。常用的有铜-钨-铋-锆四元合金、铜-钨-镍-锑四元合金，以及铜-碲-硒、铜-铋-铈、铜-铋-铝等合金
真空断路器在分闸操作时，由于高真空度的高绝缘强度和在极其稀薄的气体中触头间电弧生成的带电粒子迅速扩散，因而在电弧过零熄灭后不致重燃。电弧燃烧过程中的金属蒸气和带电粒子在强烈的扩散中被屏蔽罩所吸附而冷凝。触头的跑弧面上有三条阿基米德螺旋槽，使电弧电流在流经的路线上在触头间产生一横向磁场，使电弧电流在主触头上沿切线方向快速移动，从而降低了触头的温度，减轻了触头的烧损。
