这是一种比较准确的检查方法, 它能迅速准确地测量灭弧室内真空度高低。目前真空度测试仪大多采用磁控放电法。
1.在开断感性负载或容性负载时，由于截流、正当、重燃等原因，容易引起过电压，应采取相应的过电压保护。
2.产品的一次投资价格较高，主要决定于真空灭弧室的专业生产及机构可靠性的要求，如果综合考虑运行维护费用，价格并不高。
3.由于真空断路器的触头结构是采用对接式，操动机构使用了弹簧，容易产生合闸弹跳与分闸反弹。合闸弹跳不仅会产生较高的过电压影响电网的稳定运行，还会使触头烧损甚至熔焊，特别是在投入器组产生涌流时及短路关合的情况下更加严重。分闸反弹会减小弧后触头间距，导致弧后的重击穿，后果十分严重。
