【TechWeb】4月3日消息,清河经济开发区官方微信公众号发布消息称,目前,天达晶阳碳化硅单晶体项目正在进行无尘车间改造,一期54台碳化硅单晶生长炉已全部到场,30台已安装到位,预计4月底进行调试。
天达晶阳公司投资建设碳化硅单晶体项目,总投资约7.3亿元,项目建设分为两期。其中,第一期为年产4英寸碳化硅晶片1.2万片,使用单晶生长炉54台,采取“腾笼换业”的方式盘活原项目地块,利用原项目厂房进行改造。第二期年产分别为4-8英寸碳化硅晶片10.8万片,增设相应生产能力的单晶生长炉及其配套的切、磨、抛和检测设备。
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