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	标先SSTH系列中频磁控溅射电源大功率中频电源 rrrrrrrSSTH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的	2021-07-03

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