r SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现 高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。 r

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rr SJ6000激光干涉仪特点优势
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rr 精度高 r

rr SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。 r

rr 功能广 r

rr n 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量； r

rr n 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等； r

rr n 可实现对机床回转轴的测量与校准； r

rr n 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据； r

rr n 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等； r

rr n 支持手动或自动进行环境补偿。 r

rr 软件强 r

rr n 友好的人机界面； r

rr n 丰富的应用功能模块； r

rr n 向导式的操作流程； r

rr n 简洁化的记录管理； r

rr n 支持中文、英文和俄文界面； r

rr n 支持企业专属模板定制。 r

rr 标准多 r

rr 内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。 r

rr r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r

r r 序号 r r	r r 标准号 r r	r r 标准名称 r r
r r 1r r	r r GB/T 17421.2-2000 r r	r r 中国 标准r r
r r 2r r	r r GB 10931-1989 r r	r r 中国 标准r r
r r 3r r	r r ISO 230-2-1997 r r	r r 1997版国际标准 r r
r r 4r r	r r ISO 230-2-2006 r r	r r 2006版国际标准 r r
r r 5r r	r r ISO 230-2-2014 r r	r r 2014版国际标准 r r
r r 6r r	r r ASME B5.54-2005 r r	r r 美国 标准r r
r r 7r r	r r ASME B89.1.12M-1990 r r	r r 美国机械工程师协会标准r r
r r 8r r	r r NMTBA-1997 r r	r r 美国机床协会标准r r
r r 9r r	r r BS 3800-2-1991 r r	r r 英国机床标准r r
r r 10r r	r r BS 4656-16-1985 r r	r r 英国机床标准 r r
r r 11r r	r r JIS B6330r r	r r 日本 标准r r
r r 12r r	r r VDI 3441r r	r r 德国机床标准r r
r r 13r r	r r JJG 117-2005r r	r r 平板检定规程r r

rrr SJ6000激光干涉仪主要技术指标 r

rr r

rr 主机 r

rr 稳频精度：0.05ppm r

rr 动态采集频率：50 kHz r

rr 预热时间：≤ 6分钟 r

rr 工作温度范围：(0~40)℃r

rr 存储温度范围：(-20~70)℃r

rr 环境湿度：(0~95)%RHr

rr 环境补偿单元 r

rr 空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃r

rr 材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃r

rr 空气湿度传感器：±5%RH (0~95)%RHr

rr 大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPar

rr 线性测量 r

rr 测量距离：(0~80)m(无需远距离线性附件) r

rr 测量精度：0.5ppm (0~40)℃r

rr 测量分辨力：1nm r

rr 测量 大速度：4m/s r

rr 角度测量 r

rr 轴向量程：(0~15)mr

rr 测量范围：±10° r

rr 测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)r

rr 测量分辨力：0.1″ r

rr 平面度测量 r

rr 轴向量程：(0~15)mr

rr 测量范围：±1.5mmr

rr 测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)r

rr 基板尺寸：180mm可调，360mm可调 r

rr 测量分辨力：0.1μmr

rr 直线度测量 r

rr r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r

r r	r r 轴向量程 r r	r r 测量范围 r r	r r 测量精度 r r	r r 分辨力 r r
r r 短距离 r r	r r (0.1~4.0)mr r	r r ±3mmr r	r r ±(0.5+0.25%R+0.15M2) μmr r	r r 0.01μmr r
r r 长距离 r r	r r (1.0~20.0)mr r	r r ±3mmr r	r r ±(5.0+2.5%R+0.015M2) μmr r	r r 0.1μmr r
r r 注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m r r

rrr 垂直度测量 r

rr r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r

r r	r r 轴向量程 r r	r r 测量范围 r r	r r 测量精度 r r	r r 分辨力 r r
r r 短距离 r r	r r (0.1～3.0)mr r	r r ±3/M mm/mr r	r r ±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/mr r	r r 0.01μm/mr r
r r 长距离 r r	r r (1.0～15.0)mr r	r r ±3/M mm/mr r	r r ±(2.5+2.5%R+0.08M) μm/mr r	r r 0.01μm/mr r
r r 注：R为垂直度结果；M为测量距离，单位：m r r

rrr 自动精密转台 r

rr 型号：WR50 r

rr 角度测量范围：(0~360)°r

rr 测量精度：±1″r

rr 分辨力：0.1″r

rr 高转速：10rpmr

rr 高跟踪速度：2rpm r

rr 重量：1.9kgr

rr 高度：148mmr

rr 直径：112mmr

rr 通信方式：蓝牙传输 r

rr 供电方式：锂电池 r

rr 正交触发盒 r

rr 信号输入：差分TTL(RS422)正交编码信号、10μApp微电流信号 r

rr 输出形式：10μs脉冲 r

rr 触发延时：0.1μsr

rr 供电电源：12VDC r

rr 尺寸重量与供电 r

rr 便携箱尺寸：613mm×460mm×230mm r

rr 标准配置重量：18kgr

rr 供电电源：(100~240)VACr

rr 安全要求 r

rr 激光的安全等级达到Class I要求 r