产品简介        激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至上级标准， 是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000 激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器， 其寿命可达 50000 小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现 4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

SJ6000 激光干涉仪具有测量

精度高、测量范围大、测量速度快、测速下分辨率高等优点， 结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在 SJ6000 激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响

应特性分析等。

1.2.           产品配置

 

SJ6000 激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。