荷兰半导体设备供应商阿斯麦尔（ASML）供应极紫外光（EUV）光刻机给中芯国际的计划已经中止。
有分析人士认为，能否拥有ASML的EUV光刻机，将直接关系到中芯国际是否拥有先进的制程工艺以及量产能力。
目前，研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。”早些时候ASML也澄清称，关于日经新闻（NIKKEI）有关中芯国际相关报导有误，“延迟出货”仅为其媒体推测，ASML从未评论或确认，对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述，表示抗议。ASML表示，对全球客户一视同仁。根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可（export license）。该出口许可于今年到期，ASML已经于到期前重新进行申请，目前正在等待荷兰政府核准。
光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠，研发的技术门槛和资金门槛非常高；正因如此，能生产高端光刻机的厂商非常少，而最知名的当属荷兰的ASML。ASML是一家总部设在荷兰艾恩德霍芬（Veldhoven）的全球最大的半导体设备制造商之一，向全球复杂集成电路生产企业提供光刻机及相关服务。
中芯国际之所以愿意花这么大的价格，就是因为EUV光刻机是当前最先进的光刻机，是唯一能够生产7nm以下制程的设备，因为它发射的光线波长仅为现有设备的十五分之一，能够蚀刻更加精细的半导体电路，所以EUV也被成为“突破摩尔定律的救星”。
随着全球贸易不确定性增加，核心领域国产替代刻不容缓（早前日韩贸易战，日本即限制对韩国出口包括“氟聚酰亚胺”、“光刻胶”和“高纯度氟化氢”3种材料）。为此，国家专门成立了集成电路产业大基金，其中一期资金67%投资于集成电路制造，6%的资金投资于装备材料类。目前集成电路大基金二期资金已经落地，料将撬动万亿资金。
