供应创基CJ-FDJ-1100ACJ-FDJ-1100A多弧中频

r CJ-FDJ-1100A多弧中频磁控多功能系列镀膜设备的用途和特点：r

rr r
rr

r r                 CJ-FDJ-1100A多弧中频磁控多功能系列镀膜设备r

r r
rr

r r 多弧中频磁控真空镀膜设备，具有膜层密度高、附着力强、沉积速度快、表面光洁度的特点！r

r r 利用多多弧离子+中频磁控真空镀膜技术。r

r r 在手机壳、小五金、陶瓷、玻璃、手机外壳、MP3外壳、数码相机外壳等r

r r 可镀膜层：金属、氧化物、氮化物、TIN  TICN ZRN  CRN  TIAIN  TICr

r r 设备顶部预留四对中频靶位，可根据用户需求增减靶数量！ r

r r 侧面开有小侧门，可增配可调试平面推进靶两对！r

r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r

r r       CJ-FDJ-1100A多弧中频磁控多功能系列镀膜设备                           r r
r r    设备型号   r r	r r CJ-FDJ-1100A型r r
r r 极限真空r r	r r 优于1.0×10-3PAr r
r r 抽气时间（空载）r r	r r 从大气抽至8.0×10-3PA≦15分钟r r
r r 镀膜腔体r r	r r 整机采用太钢304不锈钢带水冷套结构，炉内尺寸Ф1100mm×H1000mmr r r 炉内围板厚8mm，水套板厚4mm,炉内上布四组70中频磁控柱靶或四对平面靶可互换可选装一对或两队，工件杆2套，每套18支，衬板1mm太钢304标配2套。r r
r r 电源类型r r		r r DC160A电弧电源八套（深圳润凌）r r r 30KW脉冲偏压电源一套（深圳普莱德）r r r 40KW中频磁控电源二套（深圳普莱德）r r
r r  r r r  真空获得系统r r	r r 叁台泰岳恒TYFB-1600分子泵+壹台萃曼ROT300罗茨泵+贰台成都南光2X-70旋片泵。r r
r r   r r r    镀膜方式r r	r r 电弧离子镀+中频磁控溅射镀r r
r r   磁控靶类型r r	r r 平面磁控靶、圆柱磁控靶、孪生磁控对靶、95间冷弧源r r
r r    工件转架r r	r r 下挂式行星公自传、0-8圈变频调速，15支挂杆，回转直径150mm.r r
r r  工件烘烤温度r r	r r 室温至250度可控可调（PID温控）r r
r r    工艺气体r r	r r 3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统r r
r r    冷却方式r r	r r 水循环冷却方式，带回水温度检测和水流检测。r r
r r    自动控制r r	r r 三菱FX2N系列PLC+触摸屏控制系统。r r
r r    控制方式r r	r r 手动、自动一体化方式、触摸屏操作、PLC或计算机控制r r
r r   整机总功率r r	r r 约100KWr r
r r   报警及保护r r	r r 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。r r
r r   其他技术参数r r	r r 水压≧0.2MPA，水温≦25度，气压0.3-0.6MPAr r
r r     随机备件r r	r r 易损密封圈、轴承、骨架油封、配套工具等。r r
r r      备注r r	r r 镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜产品工艺要求进行设计r r

r
r r
rr

r r                       r

r r                      深圳市创基真空科技有限公司r

r r            联系人：于经理18969399799r

r r      地址：深圳市宝安区沙井镇西环路东侧5号r

r